產(chan) 品介紹：
名 稱：高精密勻膠機
型 號：EZ4
原產(chan) 地：美國，USA
應 用：在高速旋轉的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地塗覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯係數而不同，也和旋轉速度及時間有關(guan) 。
產(chan) 品概述：
EZ4高精密勻膠機被設計為(wei) 塗膠處理小碎片至4英寸圓晶尺寸底物，使用工業(ye) 級直流馬達和單片機控製，文本顯示器人機界麵。
EZ4高精密勻膠機被設計為(wei) 結構緊湊、簡單易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易於(yu) 放入手套箱內(nei) 操作。EZ4采用全陽極氧化鋁麵板外殼，PP材料內(nei) 腔，經久耐用。
EZ4高精密勻膠機性能參數：
l 支持wafer尺寸：碎片（小於(yu) 1cm）至100mm（4"圓晶）
l 速度可調範圍：100-10000rpm
l 加速度可調範圍：100-10000rpm/s
l 轉速分辨率：1rpm
l 轉速精度：＜±5rpm
l 可編程5組5步程序
l 寬電壓輸入：AC100-230V
產(chan) 品特點：
l 75W 直流無刷電機，單片機控製
l 高清晰文本顯示器
l 可單步和多步勻膠操作
l PP耐腐蝕內(nei) 腔，可更換
l 鋁合金陽極氧化外殼，美觀大方
l 耐溶劑PC透明蓋
l 多角度定位鉸鏈設計
l HDPE真空吸盤
產(chan) 品外型尺寸：
250mm(D)*210mm(W)*200mm(H)
