產(chan) 品介紹：
名 稱：高精密勻膠機
型 號：EZ6
原產(chan) 地：美國，USA
應 用：在高速旋轉的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地塗覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯係數而不同，也和旋轉速度及時間有關(guan) 。
產(chan) 品概述：
EasyCoater 6勻膠機被設計為(wei) 塗膠處理小碎片至6英寸圓晶尺寸底物，使用工業(ye) 級直流馬達和PLC控製，5寸全彩觸屏人機界麵操作，簡單易用。EZ6勻膠機在材料、化學或生物等實驗室被廣泛用於(yu) 薄膜製備，納米薄膜研究等相關(guan) 領域。
EZ6勻膠機設計標準為(wei) 結構緊湊、簡單易用，程控操作，且能夠升級自動點膠功能，尺寸上可從(cong) 通用的手套箱過渡艙內(nei) 進出，具有優(you) 異的性價(jia) 比。亦可提供分體(ti) 式設計，進行嵌入式安裝，與(yu) 手套箱進行配合。
性能參數：
l 支持wafer尺寸：1cm-150mm（6"圓晶）
l 速度可調範圍：100-10000rpm
l 加速度可調範圍：100-30000rpm/s
l 轉速分辨率：1rpm
l 轉速精度：＜±5rpm
l 可編程10組10步程序
l 寬電壓輸入：AC100-230V
產(chan) 品特點：
l 100W 直流無刷電機，PLC 控製
l 5”全彩觸摸屏
l 係統中英文可選
l 帶一隻自動點膠端口，可升級自動點膠功能
l HDPE 內(nei) 腔，SUS 外殼，耐溶劑PC 透明蓋
l 真空互鎖及蓋子開關(guan) 互鎖安全功能
產(chan) 品外型尺寸：
358mm(D)*256mm(W)*258mm(H)
