產(chan) 品介紹：
名 稱：高精密勻膠機
型 號：SC100-SE
原產(chan) 地：美國，USA
應 用：SC100-SE標準型精密勻膠機是一種小型、靈活和經濟的旋轉勻膠設備，它可以實現價(jia) 值百萬(wan) 美元設備（track）的上才可能達到穩定性和均勻性。
產(chan) 品概述：
SC100-SE標準型精密勻膠機是一種小型、靈活和經濟的旋轉勻膠設備，它可以實現價(jia) 值百萬(wan) 美元設備（track）的上才可能達到穩定性和均勻性。
不鏽鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀；工業(ye) 級別200瓦伺服電機係統，采用與(yu) track設備相同設計和程序，使您的工藝更具有實際應用意義(yi) ；同類產(chan) 品中的zui大達到50000RPM/S的旋轉加速度，確保旋轉勻膠的穩定性和*的可重複性。
性能參數：
l 主機機箱采用不鏽鋼材料（抗化學腐蝕易清潔）
l 旋塗程序：zui多可存100組程序，每組100步，每個(ge) 步驟可精確到0.1秒
l 轉動速度：0-10,000rpm（更高速可選）
l 旋塗加速度：0-50,000rpm/sec（空載）
l 馬達旋塗轉速穩定性能誤差 < ±1rpm
l 轉速調節精度<1rpm
l 重複性< 1rpm
l 工藝時間設定： 0-3,000 sec/step
l 時間設置精度：0.1sec
l 支持wafer尺寸1cm-200mm（8”圓晶）
l 旋塗作業(ye) 均勻性：< ±3% 在6英寸範圍內(nei) （需要去除邊緣3毫米區域測量）
產(chan) 品特點：
l 的內(nei) 部緊湊設計，縮小了設備的尺寸。
l 7"觸屏控製麵板操作係統，更方便操作。
l on ®/polyethylene “密閉碗”設計可適合各種材料勻膠工藝。
l 標準配置轉速10000rpm，並可根據用戶需要進行定製。
l 采用工業(ye) 級別伺服電機，電機設計避免光刻膠等汙染物進入電機內(nei) 部。
l 機身選用耐酸堿、耐衝(chong) 擊、耐腐蝕不鏽鋼，*生鏽，便於(yu) 清洗。
l 排風和抽氣係統位計於(yu) 載片台之底部（以利於(yu) 排風效率和勻膠均一性）。
l 透明可視，耐化學腐蝕的密封蓋，可以在旋塗作業(ye) 時*隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發。
產(chan) 品外型尺寸：
433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標準設備結構
